微机电器件开发涵盖隧道式微机械陀螺仪、电容式微机械陀螺仪、电容式高温压力传感器、高精度谐振式压力传感器等器件的开发，其中隧道式微机械陀螺仪具有灵敏度高、漂移少、体积小、能耗低、易集成、可靠性高等特点，在制备工艺上已取得相当稳定和可重复的工艺制备流程，已具有批量化制备的基础和能力；成功设计开发了高精密电容式微机械陀螺仪，目标精度小于10ο/h，采用全解耦结构设计及片级真空封装，大大降低了产品成本，测试产品品质因子已达到3万以上；电容式高温压力传感器是采用SiC材料为基础的电容式压力传感器，主要用于高温压力测量，已解决了SiC电容式压力传感器的绝大部分关键工艺，其密封腔漏率<5×10-7 Pa·l·s-1，最高工作温度达100℃，精度达0.5%；高精度谐振式压力传感器通过采用自主专利结构，结合硅硅键合及真空封装等MEMS技术制备，最高量程达0~700kPa，灵敏度达20Hz/kPa，精度优于0.02%，工作温度范围：-20~+85℃，其测量精度已经达到了国际领先水平。