微纳器件与系统集成技术
微型操作与执行器件
发布时间：2017-06-10 浏览次数：396
利用微纳制造技术开发设计了多种新型的微操控器件，完成了微纳流体芯片与器件系统的开发设计，实现了基本压力、流速等物理量的检测；设计了生物医疗器件，实现细胞等微纳结构的操纵。图1-4为可视化微小手指操纵泵；药物输送微流体芯片，如图3所示。
