超精密加工与微纳米检测
超精密加工技术与检测装备
发布时间:2017-06-10 浏览次数:262

针对先进光学元件特别是大口径非球面的超精密制造,提出了多项相关的原创性加工方法并开发了相应的精密加工装备(如图1、图2)及配套集成工艺控制软件(图3),研究成果为我国强激光聚变工程中大口径先进光学元件的超精密加工装备开发、工艺设计等提供了至关重要的技术支持。

针对超精密加工后的大口径光学元件的表面质量检测,提出了多项检测理论方法并开发了相应的精密检测装备(如图4);同时,为保证超精加工过程中的精度和稳定性,进行了加工环境的状态监控研究,并进行相关超精加工环境监控装备的开发工作(如图5)。


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