真空退火系统
1、真空管式炉×1；型号：VBF-1200X-H8，厂家：沈阳科晶自动化设备有限公司
2、3路混气系统×1；型号：GSL-3Z，厂家：沈阳科晶自动化设备有限公司
3、高真空系统（分子泵组）×1；型号：GZK-103D，厂家：沈阳科晶自动化设备有限公司
4、冷水机×1；
